您好,欢迎进入郑州沃邦仪器设备有限公司网站!
一键分享网站到:

实验室气路设计施工

简要描述:实验室气路设计施工不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件,尤其是传输一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中为严格

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2020-11-03
  • 访  问  量:27
产品详情

实验室气路设计施工使用先进的自动焊接施工工艺安装管道、减压器、压力表、高压金属软管、钢瓶接头、焊接接头、卡套接头、不锈钢洁净管等。

(1)易燃性气体
把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高,如B 2H6的爆炸上限为98%,爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。

(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。

实验室气路设计施工不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件,尤其是传输一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中严格,一般对于P级要求(×10 -9级)制程气体的输送,均要求采用SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材,对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA (Bright Anneal)管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料,它不仅具有抗腐蚀性好的优点,而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延(Hot/Cold Rolling)、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程,其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外,再加以电解研磨及精密洗净技术,其Rmax≦0.7mm。

气体泄漏报警装置

易燃气体报警:如果气瓶是集中存放的话,可以节少成本,用户只需在实验室的角落安装一个气体泄漏报警/易燃气体探头,如果气瓶房气体发生泄漏的话,感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上,并发出预警的声音,这样用户就可以发即时维修。

低压报警:当用户在实验室工作时,需要知道气体是否快要用尽,气瓶压力是否足够,这对实验室实现不间断气体供应是很重要的;

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
产品中心
相关文章